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典型用户：记忆储存科技（东莞）有限公司
1. 设备型号名称：AERO 320 超声波清洗机
2. 清洗对象:
A. Ring 不锈钢晶圆环
B. Cassette 铝合金晶片盒
C. Magazine 铝合金治具框：规格244*82.5*127mm,重量0.4KG
D. Tray 塑料托盘
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序 号 |
工序方法 |
清洗方式 |
清洗时间 |
清洗液 |
加热功率 |
使用温度 |
过滤精度 |
缸盖 |
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1 |
推车进料 |
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2 |
超声波清洗 （压缩空气鼓泡） |
34-68KHZ/1.5W |
8-10 min |
清洗剂 |
6KW |
40-60℃ |
5µ |
平移式 |
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3 |
超声波漂洗 （压缩空气鼓泡） |
40-80KHZ/1.5W |
8-10 min |
纯水 |
6KW |
40-60℃ |
1µ |
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4 |
超声波漂洗 （压缩空气鼓泡） |
40-80KHZ/1.5W |
8-10 min |
纯水 |
6KW |
40-60℃ |
1µ |
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5 |
热风干燥 |
热风 |
8-10 min |
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9KW |
90-120℃ |
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平移式 |
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6 |
推车出料 |
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3. 清洗工艺:进料→超声波清洗（40Khz）→超声波漂洗(40Khz)→热风循环烘干→出料
4. 清洗工装
4．1 设备配有规格为:430×430×400mm的清洗外框架5只，采用￠10mm不锈钢元棒焊接制作。Magazine、Cassette型产品直接装载到清洗外框架中清洗，其中B产品可装载2件/篮，C型产品可装载8件/篮。
4．2 Ring、Tray型产品需另外制作专用治具装载产品再放入清洗外框架上清洗。治具装载量为：Ring型产品不低于20只/框，Tray型产品不低于30片/框。治具数量：Ring三种规格各3只，Tray治具3只。
