近年来，随着JIT(Just In Time)、BTO（面向订单生产）等新型生产模式的提出，以及客户、市场对产品质量提出更高要求，MES被重新发现并得到重视。同时企业开始认识到要从基础的生产管理上提升竞争力，即只有将数据信息从产品级（基础自动化级）取出，穿过操作控制级，送达管理级，通过连续信息流来实现企业信息集成才能使企业在日益激烈的竞争中立于不败之地。制造执行系统（MES）旨在提升企业执行能力，具有不可替代的功能，竞争环境下的流程行业企业应分清不同制造管理系统的目标和作用，明确MES在集成系统中的定位，重视信息的准确及时、规范流程、利用工具、管理创新，根据MES成熟度模型对自身的执行能力进行分析，按照信息集成、事务处理、制造智能三阶段循序渐进地实施MES系统，才能充分发挥企业信息化的作用，提高企业竞争力，为企业带来预期效益。
       一、添加通过SECS/GEM协议通信的要求：
       1、机台端要支持国际半导体设备与材料协会制定的SECS/GEM标准；
       2、如果机台不支持网线连接（TCP/IP），则需要提供相应的中转设备实现联网功能（可联网的PLC、操作电脑等）；
       3、机台端要开放符合SECS/GEM标准（包括E4、E5、E30、E37）所需要使用到的所有接口及个性化定义的API文档（针对于不同设备型号的数据传输控制中的命令定义），通过卖方提供的通讯协议&接口，用户可实现自有服务器到机台端数据的实时监控和机台操作界面中所有功能的远程执行；
       二、基本功能
       设备软件主要功能 功能描述及验收标准
       信息追溯 设备带有RFID和二维码及条码读取功能，用于读取每盘加工晶片的ID,读取的数据生成文档存储至服务器，方便系统的调用。
       自动化 1)可实现Autorecipe和自动进出站功能；
       2)自动化流程满足用户需要；
       3)设备满足SECS/GEM协议通信的要求，具体见第2项。
       数据记录及数据上传 1)生产总量数据记录；
       2)生产效率数据记录
       3)系统状态显示
       4)运行时间记录
       5)故障时间记录
       6)待料时间记录
       7)耗材寿命及更换记录
       8）软体recipe更改记录
       9）作业异常信息记录
       10)弹性化设计：软件规格程序可依需求修改
       三、软件要求
       ● 自动模式
       1. 更换至各种模式之选择键
       2. 显示各槽工作状态 (如: 待机中或工作中)
       3. 显示制程槽目前之配方编号；显示制程槽之制程总时间，剩馀时间(递减) 及已工作之时间(递增)
       4. 显示年, 月, 日, 时，分，秒时间讯息
       5. 显示目前操作人员之等级
       6. 药液寿命监控（时间，片数，次数）
       ● 手动模式
       1. 更换至各种模式之选择键
       2. 显示各制程槽感测器状态 (如: 液位信息)
       3. 各阀件及其他被动元件操作
       4. 超声波，加热器，晃动装置手动操作
       5. Robot 原点找寻操作
       6. Robot 各槽位及个上下点移动单动操作
       7. Robot 教导模式操作
       ● 警报模式
       1. 更换至各种模式之选择键。
       2. 实时报警（实时报警主要显示设备当前还存在的报警；并显示发生的时间）
       3. 历史报警（历史报警主要显示设备曾经发生的报警；并显示记录发生的时间，确认时间，复位时间，报警解除时间。便于设备人员查找问题）
       4. 显示发生中之警报信息。(警报解除后，按操作面板上复位键解除警报信息。
       3. 画面右下角"历史记录"，进入之前警报讯息、时间等记录。以利追溯警报状况
       ● 参数设定
       1. 设定设备调试所需之各项参数。
       2. 设定酸液使用时间、次数，片数等各项参数。
       3. 设定定量补酸模式：依每个Run 或时间。
       4. 操作等级密码设定 (高等级才可设定此功能)